荷电(对导电性能不好的样品产生的负电荷积累)
荷电对导电性能不好的样品产生的负电荷积累荷电是对于导电性能不好的样品如半导体材料,绝缘体薄膜,在电子束的作用下,其表面会产生一定的负电荷积累。但由于高能电子的穿透能力以及样品表面二次电子的发射作用,对于一般在100nm厚度以下的绝缘体薄膜,如果基体材料能导电的话,其荷电效应几乎可以自身消除。因此,对于一般的薄膜样品,一般不用考虑其荷电效应...
荷电对导电性能不好的样品产生的负电荷积累荷电是对于导电性能不好的样品如半导体材料,绝缘体薄膜,在电子束的作用下,其表面会产生一定的负电荷积累。但由于高能电子的穿透能力以及样品表面二次电子的发射作用,对于一般在100nm厚度以下的绝缘体薄膜,如果基体材料能导电的话,其荷电效应几乎可以自身消除。因此,对于一般的薄膜样品,一般不用考虑其荷电效应...