超临界流体兼有气体液体的双重性质和优点的物质物质的状态一般为固体、液体、气体，同时超过临界点（Tc、Pc）的状态被称为超临界流体，兼具气体的性质（高扩散性）与液体的性质（物质溶解力）。超临界流体技术也是一项备受关注的环保型技术，可以发挥超临界流体的特性，在医药品和食品等领域用作环境负荷较高的有机溶剂的替代品，并且在半导体和MEMS等领域用...